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Tsuda, Shota

発行日 (降順)
Reduction of parasitic reaction in high-temperature AlN growth by jet stream gas flow metal–organic vapor phase epitaxy
著者 永松, 謙太郎/ Tsuda, Shota/ Miyagawa, Takumi/ Aono, Reiya/ Hirayama, Hideki/ 髙島, 祐介/ 直井, 美貴/
資料タイプ 学術雑誌論文
掲載誌名 Scientific Reports
巻 12
発行日 2022-05-10
部局 ポストLEDフォトニクス研究所 理工学系
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