著者 | 日下, 一也/ Maruoka, Yutaka/ 松英, 達也/ |
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資料タイプ | 学術雑誌論文 |
掲載誌名 | Journal of Vacuum Science & Technology A |
巻 | 34 |
号 | 3 |
発行日 | 2016-03-24 |
部局 | 理工学系 |
著者 | 日下, 一也/ 英, 崇夫/ 金子, 健太/ 松英, 達也/ 坂田, 修身/ |
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資料タイプ | 紀要論文 |
掲載誌名 | 徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部研究報告 |
巻 | 54 |
発行日 | 2009 |
部局 | 理工学系 |