| 著者 | 日下, 一也/ Shirasaka, Kenta/ 米倉, 大介/ Tanaka, Yuta/ |
|---|---|
| 資料タイプ | 学術雑誌論文 |
| 掲載誌名 | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| 巻 | 37 |
| 号 | 6 |
| 発行日 | 2019-10-28 |
| 部局 | 理工学系 |
| 著者 | 日下, 一也/ Shirasaka, Kenta/ 米倉, 大介/ Tanaka, Yuta/ |
|---|---|
| 資料タイプ | 学術雑誌論文 |
| 掲載誌名 | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| 巻 | 37 |
| 号 | 6 |
| 発行日 | 2019-10-31 |
| 部局 | 理工学系 |
