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ID 118652
タイトル別表記
対向ターゲット式DCマグネトロンスパッタ法を用いた透明ITO/GTO二層膜の作製
著者
スタン チャイルル, イムラン ビン 徳島大学大学院先端技術科学教育部(物質生命システム工学)
キーワード
GTO
ITO
bilayer film
diode
資料タイプ
学位論文
発行日
2023-09-25
備考
内容要旨・審査要旨・論文本文の公開
フルテキストファイル
言語
eng
著者版フラグ
博士論文全文を含む
文科省報告番号
甲第3751号
学位記番号
甲先第455号
学位授与年月日
2023-09-25
学位名
博士(工学)
学位授与機関
徳島大学