ID | 118652 |
タイトル別表記 | 対向ターゲット式DCマグネトロンスパッタ法を用いた透明ITO/GTO二層膜の作製
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著者 |
スタン チャイルル, イムラン ビン
徳島大学大学院先端技術科学教育部(物質生命システム工学)
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キーワード | GTO
ITO
bilayer film
diode
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資料タイプ |
学位論文
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発行日 | 2023-09-25
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備考 | 内容要旨・審査要旨・論文本文の公開
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フルテキストファイル | |
言語 |
eng
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著者版フラグ |
博士論文全文を含む
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文科省報告番号 | 甲第3751号
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学位記番号 | 甲先第455号
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学位授与年月日 | 2023-09-25
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学位名 |
博士(工学)
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学位授与機関 |
徳島大学
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