著者 川上, 烈生/ Makino, Yuta/ 柳谷, 伸一郎/ 白井, 昭博/ Niibe, Masahito/ Nakano, Yoshitaka/
資料タイプ 学術雑誌論文
掲載誌名 Journal of Vacuum Science & Technology B
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発行日 2024-01-11
部局 理工学系 生物資源系