著者 日下, 一也/ Shirasaka, Kenta/ 米倉, 大介/ Tanaka, Yuta/
資料タイプ 学術雑誌論文
掲載誌名 Journal of Vacuum Science & Technology B
37
6
発行日 2019-10-28
部局 理工学系
著者 日下, 一也/ Shirasaka, Kenta/ 米倉, 大介/ Tanaka, Yuta/
資料タイプ 学術雑誌論文
掲載誌名 Journal of Vacuum Science & Technology B
37
6
発行日 2019-10-31
部局 理工学系