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発行日 (降順)
Inscribing diffraction grating inside silicon substrate using a subnanosecond laser in one photon absorption wavelength
著者
Sugimoto, Kozo
/
松尾, 繁樹
/
直井, 美貴
/
資料タイプ
学術雑誌論文
掲載誌名
Scientific Reports
巻
10
発行日
2020-12-08
部局
理工学系